【摘要】本论文着眼于Cr基硬质薄膜，以复合和多层梯度法为主导，利用中频磁控溅射技术，分别制备了不同工艺参数下的Cr/CrxOy多层膜、Cr调制DLC多层膜以及两种不同Cr梯度掺杂的DLC多层膜，系统研究了工艺参数、调制周期厚度、梯度掺杂方式对Cr基硬质多层膜的表面及界面的微观结构、组成和力学性能的影响，探究了表面缺陷的形成机理和界面性能的作用机理。结果表明：（1）Cr/CrxOy多层膜的结构为Cr […]