【摘要】膜片式微振动光纤传感器的核心技术是高灵敏度传感膜片的制作及传感膜片与探测光的耦合方式。本文使用液相化学反应生成了一种纳米银膜,使用纳米银膜设计出一种高灵敏度的微振动传感器；使用相位载波(PGC)零差解调方法,构建了一种微振动光纤传感器系统。实验结果充分证明,此传感器系统结构简单,体积小,对声压、光压的具有理想的感应灵敏度及检测线性度：此传感器可应用于声音传感、微振动传感、光压传感、光功率测 […]