【摘要】本论文以改善类金刚石碳（DLC,diamond-likecarbon）薄膜韧性为出发点，以金属掺杂DLC技术为主导，利用离子束辅助沉积（IBAD,ionbeamassisteddeposition）技术和中频磁控溅射技术制备了不同金属含量的掺银类金刚石碳膜（Ag-DLC）和掺铜类金刚石碳膜（Cu-DLC）。通过研究非碳化物金属含量对薄膜微观结构、力学性能、综合摩擦学性能的影响，探讨了非碳化 […]