【摘要】本文主要研究声表面波压力传感器在低压领域(0-20kPa)的设计、制作。分析介绍了LiNbO3(铌酸锂)材料的一些相关性质并据此选用X-1280YLiNbO3(铌酸锂)作为声表面波压力传感器的基片材料。并对声表面波压力传感器的输入叉指换能器和输出叉指换能器进行设计,其中输入换能器采用余弦平方函数进行加权设计,以消除旁瓣干扰,输出换能器采用均匀换能器。同时建立了声表面波压力传感器的线性回归数 […]