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高性能复杂光学系统的偏振光传输分析 10月16日

【摘要】高性能复杂光学系统,随着技术和工艺的发展而变为可能,随之也出现了新的挑战。如高数值孔径(NumericalAperture,NA)光刻物镜通过缩短工作波长、浸液技术以及分辨率增强技术,正由32nm节点向22nm节点发展,随着性能参数向理论临界值的逼近,传统标量分析法精度不再足够,必须考虑光的矢量本质,采用矢量分析法。本论文首先介绍了对高性能复杂光学系统进行偏振分析的研究意义及国内外研究现状 […]