【摘要】光学微结构元件作为光电产品和光通讯产品不可或缺的关键零部件,已在航天、信息等领域获得了十分广泛的应用。微结构功能表面的高精度、高效率和低成本加工制造引起了世界各国广泛的关注和研究。光学微结构元件通常是利用特种加工方法如光刻、微细电解等进行加工,工艺过程复杂,效率低,成本高,限制了光学微结构元件的应用。采用单点金刚石飞刀加工可以直接加工出具有纳米级的表面粗糙度和亚微米级形状精度的光学微结构元 […]