【摘要】随着微电子机械系统（MEMS）技术的发展，微观世界的微米和纳米技术成为人们关注的话题。在微电子，光纤通讯，精密加工等领域都迫切需要精度高、稳定性好的微纳米驱动器。压电陶瓷（PZT）是一种新型功能材料，是一种理想的微驱动器，具有响应速度快、体积小、驱动力大和精确度高等优点，因而被广泛应用在微纳米技术和驱动系统领域。然而压电陶瓷自身存在的迟滞等特性，会严重影响微米和纳米驱动系统的优良性能，这也 […]