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SOI高温压力传感器设计及制备技术研究 04月04日

【摘要】在高温恶劣环境下,气体压力参数的敏感测试由于敏感头的机械结构功能退化、连接引线高温失效等问题,是无法进行实时动态测量的。因此,要对压力传感器进行高温设计,从敏感头材料到连接线材料,及至封装管壳的选取,都要使用在高温下性能仍然稳定的材料,而且要从整个传感器设计上,采用耐高温的设计,以确保压力传感器能够在高温下稳定正常工作。本文采用SOI材料作用敏感头材料,使敏感头在高温下避免了本征半导体被激 […]