【摘要】随着我国越来越强的自主创新能力和先进制造技术，我国在超精细加工、纳米材料研制、集成电路与微机电系统(MEMS)器件制造等高新技术产业，取得了高速的发展。因为上述这些高新技术产业都是以纳米技术为基础，所以迫切地需要建立量值统一的纳米计量标准和溯源体系。为实现国家纳米量值传递基准的溯源体系，中国计量科学研究院研制了一套大范围纳米几何结构计量基准装置。本课题研究正是在该装置的基础上，改进其中的激 […]