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新型硅基纳米线波导及谐振腔的研究 10月17日

【摘要】由于与CMOS工艺兼容,并且在光通信波段性能优异,硅光子学近年来得到了广泛的研究并取得了一系列进展。本文首先介绍了主要的硅基集成型光子学器件,及其在光互连与光传感中的应用。然后,本文分别研究了新型低损耗硅纳米线波导与微盘谐振器,及其在光互连与光传感中的应用。首先,研究了平面集成型光波导损耗的来源,以及影响其损耗的各项波导参数。结合制备硅纳米线波导的特点,总结了降低波导损耗的各种工艺及设计方 […]