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悬浮吸收层的MEMS热电堆红外传感器的结构设计及制备方法研究 04月26日

【摘要】红外传感器是一种基于红外辐射导致半导体材料产生物理特性变化的传感器,是物联网技术发展的关键点之一。随着红外传感器越来越深入的应用到民用和军事领域,热电堆红外传感器以其无需斩波器、体积小、无需制冷装置、低成本、低噪声等优点,吸引了越来越多的学者对其进行研究。同时,诸多研究集中于实现红外传感器小型化、集成化、低功耗化的目标,取得了令人瞩目的成绩,但是研究过程中产生了诸如工艺兼容性差,能效低等问 […]