【摘要】光学技术的快速发展对光学系统质量或光学面形要求不断提高,而现有商用干涉仪的检测精度由于受到标准面加工的限制,其检测精度的均方根值(RMS)一般为λ/50～λ/100,无法达到更高的检测精度。针孔点衍射干涉检测技术作为一种高精度检测手段,可实现亚纳米量级的检测精度。在点衍射干涉仪(PDI)中,除了衍射波前误差会影响系统的测量精度外,衍射光的强度和光强均匀性对检测精度也有很大的影响。检测数值孔 […]