【摘要】随着全球科技的发展，复杂光学曲面越来越多应用于航空、航天、交通、能源等领域。同时也对其精度提出了更高的要求，而复杂光学曲面的检测一直是国内外研究的重点。在线测量可以避免重复装夹引起的误差，从而提高加工效率和加工精度，是复杂光学曲面精密制造的一种有效方式。本文开发了超精密接触式在线测量平台，实现了复杂光学元件面型数据的在线测量。论文从接触式测量原理出发，理论结合实际，开发四轴联动在线测量平台 […]