【摘要】三坐标测量机是实现三维方向测量的主要测量仪器。随着现代工业的发展，具有纳米级三维测量精度的三坐标测量机和三维接触式探头，正成为国内外许多高校和研究所的研究热点。简要介绍了国内外纳米三坐标测量机以及三维探头的发展现状。详细介绍了自主开发的大量程高精度三维接触式测量探头的原理和结构，该探头主要由三自由度光学传感器、悬浮机构和探针三部分组成。全面介绍了自主研发的微纳米三坐标测量机的系统组成、结构 […]

【摘要】近年来，随着超精密加工和微细加工技术的广泛应用，微型机械、超精密光学器件、MEMS等越发趋于微型化，传统的三坐标测量机(CoordinateMeasuringMachining,CMM)已满足不了这些微小器件和微位移量的测量精度要求，因此研制新型微纳米CMM成为了当下新的发展趋势。作为微纳米CMM三维测量技术核心的三维测头触发定位技术逐渐成为国内外研究的热点和难点问题。针对微纳米CMM中三 […]