【摘要】MEMS产品的应用范围越来越广，理解MEMS产品在不同工作条件下的行为和失效模式对提高器件可靠性、优化结构设计是十分重要的。机械冲击对MEMS结构的影响是一个非常重要的问题，因为MEMS器件在加工、运输以及使用过程中不可避免的会受到外界的冲击和碰撞；在冲击作用下，MEMS器件可能会发生短路、断裂、粘附等失效模式等。静电驱动是MEMS中最常用的驱动方式之一，静电驱动的MEMS器件在受到外界冲 […]

【摘要】本论文研究了纳米尺度关于表面过程的相互作用。实验通过一台自行研制的超高精度原子力纳米力学测试系统进行,该系统以激光差分干涉的方法对微小位移进行测量,精度达到e-28m2/Hz。结合对系统原有热噪声的分析,这个工具使得可以对微纳米尺度系统,如原子力显微镜微悬臂梁、单壁碳纳米管等系统的机械反馈在广频域下进行量化表征。论文的第一部分研究了原子力显微镜微悬臂梁的粘弹性耗散。发现当微悬臂梁镀有金属薄 […]