【摘要】在现代高新技术领域，如光刻技术、超精密机械加工及测量、集成电路制造和生物细胞作业等，对二维定位装置和技术的要求越来越高，能实现高速度、高精度的二维定位装置是平面运动未来发展的一项关键技术。与传统旋转电机配合传动机构来实现二维运动相比，平面电机不需要转换机构就可以直接实现二维平面运动，它具有结构简单、定位精度高和速度快等优点。本文首先阐述了课题的来源、目的和意义，并对平面电机国内外研究现状进 […]