【摘要】微加工技术发展至今始终致力于如何高度还原设定的程序模型，这对于制备`应用于光子学，电子学，微机械等领域的微纳器件来说是至关重要的，因为它们都需要维持特定的形状和尺寸以保证稳定的性能。这些加工过程都是“静止的”，即为了确保制作出的微纳器件能够忠实还原程序预先设定的形貌，加工过`程中应尽量减少外界干扰。而随着微加工技术的发展，“动态”特性也越来越被人重视。但往往只局限在制备后的结构的动态行为， […]