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微悬臂梁的冲击、静电和阻尼研究 03月23日

【摘要】MEMS产品的应用范围越来越广,理解MEMS产品在不同工作条件下的行为和失效模式对提高器件可靠性、优化结构设计是十分重要的。机械冲击对MEMS结构的影响是一个非常重要的问题,因为MEMS器件在加工、运输以及使用过程中不可避免的会受到外界的冲击和碰撞;在冲击作用下,MEMS器件可能会发生短路、断裂、粘附等失效模式等。静电驱动是MEMS中最常用的驱动方式之一,静电驱动的MEMS器件在受到外界冲 […]