【摘要】随着微电子机械系统（MEMS）技术的发展，微观世界的微米和纳米技术成为人们关注的话题。在微电子，光纤通讯，精密加工等领域都迫切需要精度高、稳定性好的微纳米驱动器。压电陶瓷（PZT）是一种新型功能材料，是一种理想的微驱动器，具有响应速度快、体积小、驱动力大和精确度高等优点，因而被广泛应用在微纳米技术和驱动系统领域。然而压电陶瓷自身存在的迟滞等特性，会严重影响微米和纳米驱动系统的优良性能，这也 […]

【摘要】随着微电子学科的发展,目前已经进入“亚微米—纳米时代”。压电陶瓷在该技术领域的应用具有优势,因而针对压电陶瓷性能和控制器的研究成为热点,开展该课题研究,对于缩小我们与世界先进国家的距离,促进我国精密仪器、精密加工的水平,提升我国纳米技术方面的发展具有重要的意义。本文分析了压电陶瓷执行器研究现状,阐述了压电陶瓷执行器驱动原理,重点对压电陶瓷执行器电压—位移特性、力—位移特性、迟滞 […]