【摘要】三坐标测量机是实现三维方向测量的主要测量仪器。随着现代工业的发展，具有纳米级三维测量精度的三坐标测量机和三维接触式探头，正成为国内外许多高校和研究所的研究热点。简要介绍了国内外纳米三坐标测量机以及三维探头的发展现状。详细介绍了自主开发的大量程高精度三维接触式测量探头的原理和结构，该探头主要由三自由度光学传感器、悬浮机构和探针三部分组成。全面介绍了自主研发的微纳米三坐标测量机的系统组成、结构 […]