【摘要】太赫兹波在通信、雷达、探测以及成像等方面有着重要的潜在应用前景。基于光栅结构的奥罗管、返波管因其结构紧凑、高效、高功率和可调谐特性而极具发展潜力。作为太赫兹源关键部件的金属光栅结构，特征尺寸可达微米量级，传统的机械加工方法和普通的微细加工方法很难达到如此高的精度。基于SU-8光刻胶的UV-LIGA工艺是一种非常有效和实用的MEMS技术，能够满足THz光栅结构对加工工艺的要求。作为UV-LI […]