【摘要】二次离子质谱是目前最有效的表面分析手段之一，被广泛应用于医学、地质学、核科学、生物学、化学、半导体等科学。二次离子质谱的分析对象是由一次离子源中引出的一次离子束轰击样品产生的二次离子，因此一次离子源在二次离子质谱中具有重要地位。二次离子质谱分析中使用的O-离子束由双等离子体离子源产生，其可以减小样品表面电荷积累对分析造成的影响，同时也能够提高二次正离子的产率。因此，双等离子体离子源被广泛应 […]